激光切割機的切割精度與激光器產(chǎn)生的激光輸出功率有關(guān)外,還有一個較為重要的關(guān)鍵點在于激光切割機的精密定位。關(guān)于定位技術(shù)所存在的問題,是如何使微細領(lǐng)域的定位技術(shù)擴展到更廣的領(lǐng)域,盡管已有報告提出僅利用衛(wèi)東螺絲可達到納米精度的超精密定位,但大多數(shù)情況下,并不能以簡單的進給機構(gòu)來完成。
尤其是像機器人哪樣,以多于一個自由度的位置、姿勢(旋轉(zhuǎn))為目的的多自由度結(jié)構(gòu),要求必須備有粗微動結(jié)構(gòu)。而且對多自由度的微動結(jié)構(gòu),為了能精密地控制運動對象在任意方向的運動,各自由度方向具有相同的運動特性,這一段也是很重要的。
若能很好地利用像采用旋轉(zhuǎn)體導(dǎo)向、滾動這樣在細微領(lǐng)域中所變現(xiàn)的特性的話,便能實現(xiàn)亞微米級單位技術(shù)。此外還有報告提出,利用滾子和滑子之間的摩擦驅(qū)動特性實現(xiàn)納米級超精密定位。