激光清洗的進(jìn)行是機(jī)械裝置、有關(guān)能量和污物層的各種相關(guān)因素的綜合。激光切割機(jī)如果大多數(shù)污物對(duì)1.064um的光吸收強(qiáng)烈,激光切割機(jī)在清洗過程就能在低能量下(<1j/cm2)輕易進(jìn)行,并將對(duì)底層表面的破壞減至 低。強(qiáng)烈的能量吸收導(dǎo)致快速加熱和并發(fā)的污物顆粒膨脹。由于脈沖波長(zhǎng)很短,膨脹過程很快發(fā)生,生成的合力能將污物顆粒從表面噴射出去。這是一個(gè)有選擇性的過程。如果能量稍微提高,一些材料將被加熱到足夠高的溫度而發(fā)生蒸發(fā)。在更高的能量(大于1.5J/cm2,數(shù)值取決于污物層),移除污物的過程機(jī)理變得更加復(fù)雜,并包括表面附近的離子體的形成和生成的振動(dòng)波。這樣清洗的選擇性就降低了,并能引起底層表面的破壞。因此,清洗過程應(yīng)采用 低的實(shí)用能量,這樣操作激光切割機(jī)就具有更高的選擇性。